1 将中所有要分析的XPS图谱并拖进Avantage窗口。
2 选中C1s窗口，选择工具栏中的峰拟合，在弹出的窗口中选择自动添加峰。
3 选择fit peaks标签，点击拟合这个层，拟合后若是还有没有寻到的峰，点击Add fitted peak，选择添加单个峰直到添加完所有峰，选择fit peaks标签，点击拟合所有层，点击确定。回到主界面，点击峰拟合标签，FWHM拟合项目下的0.5：3.5，将所有3.5改为2.5。确定C1s的峰位后，和284.8eV做对比，单击图谱左上角空白处，选中所有图谱，点击电荷移位，C1s与284.8eV相比小的，正位移差值，否则负位移差值，注意选择允许小数位移。按以上方法确定其他峰。
4 点击主界面的报告-报告至MS Excel导出数据。
